淺談光刻膠的構成及其作用

光刻膠主要是由成膜樹脂、光引發劑、溶劑為主要成分的，還包含有抗氧化劑，均勻劑和增粘劑等輔助成分。

成膜樹脂：

      以正膠為例，大部分正性光刻膠的樹脂是酚醛樹脂，一種苯酚和甲醛合成的樹脂，其分子鏈的長度是光刻膠性能的關鍵調節因素：長的分子鏈可以提高這熱穩定性，減少殘膜率和顯影速率，而短的分子鏈能提高粘度，而光刻膠是由這些混合的樹脂依靠著這些物理和化學特性組合而成的。

光引發劑：

      以i線正膠為例，其光引發劑是一種帶有重氮萘醌基團的化合物，在經過曝光后轉化為一種羧酸，伴隨著氮氣的釋放和水分的吸收，其在堿溶液中的溶解速率增加了三個數量級?；烊朐摶衔锖蟮木€性酚醛樹脂，即可通過曝光來改變其在弱堿性溶液中的溶解速率，以達到圖形化的目的。

溶劑：

      幾乎所有的正性光刻膠的溶劑是PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯)，光刻膠大約55-65%的原料就為此溶劑，具有很好的溶解性，適合將成膜樹脂和光引發劑液化以便于旋轉涂敷。其沸點高達145℃，常溫下揮發性低，是一種穩定的溶劑。在烘烤過程中，該溶劑可以充分揮發，否則剩余的溶劑會影響光刻膠的性質：在顯影液中，PGMEA轉變為乙酸并能增加腐蝕，又或殘余的溶劑會降低光刻膠熱穩定性。